晶圆搬运天车轨道轮
- 更新时间： 2026-03-26 16:58:34
- 搬运天车轨道轮，适用于半导体洁净室，抗静电、低产尘，聚氨酯一体浇注成型，高精度、耐磨、减震，保障晶圆 FOUP 转运稳定，适配 OHT/AMHS 自动化物流系统。
- 咨询热线：181-1890-0837
-
产品详情
搬运天车轨道轮，适用于半导体洁净室，抗静电、低产尘，聚氨酯一体浇注成型，高精度、耐磨、减震，保障晶圆 FOUP 转运稳定，适配 OHT/AMHS 自动化物流系统。
一、为什么晶圆搬运对车轮要求如此严苛？
1、防静电 (ESD)：必须能有效导走静电，避免击穿晶圆电路。
2、低产尘：表面光滑无缝隙，不产生微粒，满足洁净室（Cleanroom）要求。
3、高精度：确保天车在高速运行时能精准定位，避免振动损伤晶圆。
4、长寿命与低维护：在24小时不间断的高强度工作下，需要有极高的耐磨性和稳定性。
二、应用场景
1、晶圆盒搬运：
在半导体前道工艺中，将FOUP在不同工艺设备（如光刻、刻蚀、检测）间高效、稳定地搬运。
2、洁净室环境：
适配ISO Class 1级无尘车间，满足半导体厂、面板厂、高端电子厂对微粒控制和洁净度的严格要求。
3、重载搬运：
可承载最大500kg的负载（部分重型设计可达3-5吨），并在高速运行时保持平稳性。
三、选型与维护建议
选型关键：
根据负载、速度、洁净度等级和环境适应性（温度、湿度、化学接触）选择合适硬度（邵氏A85-95）和结构设计。
维护要点：
定期检查磨损情况（聚氨酯层剩余厚度应≥5mm）、清洁车轮表面（使用无尘布，避免有机溶剂），并及时更换以避免轮毂与轨道直接接触。
总结
随着半导体制造向更先进制程和更大尺寸（如12英寸晶圆厂）演进，OHT天车系统已成为晶圆厂的“神经网络”，而高性能包胶轮正是保障其高效、稳定、洁净运行的关键基石。
上一篇：空中EMS小车裹胶轮
下一篇：没有了
苏公网安备32021402002131号