半导体OHT车轮
- 更新时间： 2025-06-23 13:38:38
- 半导体OHT车轮以聚氨酯为核心材料，凭借高耐磨、抗撕裂、耐化学腐蚀及防静电特性，结合铝合金轮毂与精密包胶工艺，实现低产尘、高精度定位(±0.1mm)与长寿命(5-8年)运行。其低噪音(<60dB)与宽温湿度适应性(-20℃至80℃、85%RH)满足Class 10-100洁净室要求。
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产品详情
半导体OHT(Overhead Hoist Transport，空中走行式无人搬运车)聚氨酯包胶车轮是半导体制造工厂自动化物料搬运系统中的关键部件，其性能直接影响生产效率和产品质量，以下从材料特性、结构设计、功能优势、应用场景及维护保养等方面进行详细介绍：
一、材料特性
1、高耐磨性：聚氨酯的耐磨性是橡胶的3 - 5倍，适用于高频率、长距离的物料搬运，可减少车轮磨损和更换频率，确保运输过程的稳定性和连续性。
2、抗撕裂性强：在半导体工厂的复杂环境中，聚氨酯车轮可承受较大的冲击载荷，避免因撕裂导致的停机事故。
3、化学稳定性：对半导体制造中常用的酸碱溶液、有机溶剂等具有优异的耐腐蚀性，可延长车轮使用寿命。
4、防静电性能：聚氨酯材料中添加导电炭黑或金属纤维，使车轮表面电阻率控制在10⁶ - 10⁹Ω，有效防止静电积累，避免对半导体晶圆造成静电损伤。
5、低产尘性：车轮表面光滑，不易产生微粒脱落，且聚氨酯材料本身不释放挥发性有机化合物(VOCs)，满足半导体工厂Class 10 - 100洁净室要求。
半导体OHT车轮
二、功能优势
1、高精度定位：聚氨酯车轮的低弹性变形特性使OHT在高速运行(通常为1 - 3m/s)时仍能保持±0.1mm的定位精度，满足半导体设备对物料搬运的高精度要求。
2、低噪音运行：车轮与轨道间的软接触设计，使OHT运行噪音低于60dB(A)，可减少对生产环境的干扰。
3、长寿命：在正常工况下，聚氨酯车轮的使用寿命可达5 - 8年，维护周期延长至1年以上，显著降低停机时间和维护成本。
4、环境适应性强：车轮可在 - 20℃至80℃的温度范围内稳定运行，并耐受85%RH的高湿度环境，适应半导体工厂的温湿度波动。
三、应用场景
在半导体前道工艺中，OHT通过聚氨酯车轮将晶圆盒(FOUP)在不同工艺设备间高效、稳定地搬运，避免晶圆因振动或静电而损坏。该车轮适用于Class 10 - 100洁净室，可满足半导体制造对微粒控制和洁净度的严格要求，还可承载最大500kg的负载，并在高速运行时保持平稳性，适用于大批量、高效率的半导体生产线。
四、维护保养
1、定期检查：检查车轮的磨损情况、松动情况以及清洁度，确保车轮处于良好的工作状态。
2、润滑保养：根据使用情况和环境条件，定期对车轮进行润滑，以减少摩擦和磨损，延长使用寿命。
3、及时更换：当车轮磨损到一定程度或出现故障时，应及时更换新的车轮，以避免对生产造成影响。
半导体OHT车轮以聚氨酯为核心材料，凭借高耐磨、抗撕裂、耐化学腐蚀及防静电特性，结合铝合金轮毂与精密包胶工艺，实现低产尘、高精度定位(±0.1mm)与长寿命(5-8年)运行。其低噪音(<60dB)与宽温湿度适应性(-20℃至80℃、85%RH)满足Class 10-100洁净室要求，可稳定承载500kg负载，保障晶圆盒在半导体产线中的高效、安全搬运，是提升良率与生产连续性的关键部件。
