FAB车间无尘航车
- 更新时间： 2025-07-03 14:51:41
- FAB车间无尘航车专为高洁净度环境设计，满足ISO洁净标准，具备高速运行、精准定位、自动化对接AMHS系统等优势，可高效完成晶圆、光罩盒搬运及设备维护物料传输，为半导体生产提供稳定可靠的空中物料搬运解决方案。
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产品详情
FAB车间无尘航车专为高洁净度环境设计，满足ISO洁净标准，具备高速运行、精准定位、自动化对接AMHS系统等优势，可高效完成晶圆、光罩盒搬运及设备维护物料传输，为半导体生产提供稳定可靠的空中物料搬运解决方案。
一、无尘行车功能
1、高洁净度搬运：在ISO 5级（百级）至ISO 7级（万级）洁净环境中，实现晶圆、光罩、封装材料等精密物料的无污染运输。
2、防静电与微粒控制：通过导电材料、离子风机等技术，消除静电对电子元件的损害，并控制微粒脱落。
3、精准定位与路径规划：结合激光导航、视觉识别或二维码定位技术，确保物料送达指定工位的精度达毫米级。
二、应用场景与案例
1、半导体晶圆生产线
千级/百级无尘车间中，航车搭配真空吸盘搬运晶圆盒，减少人工接触导致的污染与破损。
2、精密电子组装与光伏车间
在万级洁净区（换气次数≥30次/小时）通过智能轨道车与AGV联动，完成物料从仓储到产线的全程无尘流转。
3、生物制药与食品加工
十万级洁净区（换气次数≥20次/小时）采用低噪航车，避免震动影响无菌环境。
三、选型与实施要点
1、避免洁净度破坏
航车宜置于洁净棚外部，通过顶部活动窗口作业；若必须内置，需定期清洁轨道与机身，防止积尘。
2、厂商选择标准
优先选具备ISO/CE认证及半导体行业案例的供应商，提供远程调试与24小时响应服务。
3、兼容车间净化系统
需适配FFU（风机过滤单元）自循环系统，确保气流组织为上送下回（≥0.45m/s风速），维持正压防尘。
四、总结
FAB无尘起重机是半导体、光电等高端制造业的“洁净搬运卫士”，其核心在于微粒控制、防静电与智能化。选型时需匹配车间洁净等级（百级至十万级）、空间限制及物料特性，并严格遵循准入维护规范。
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